氮化爐充入氮氣的作用，PECVD過程中充入氮氣的作用是什么？
提問時間：2021-07-14 14:24 問題熱度：
很多人在購買工業(yè)爐和干燥設(shè)備時都很關(guān)心氮化爐充入氮氣的作用，PECVD過程中充入氮氣的作用是什么？ 的問題，畢竟多數(shù)為定制產(chǎn)品，所以了解的越多，就越容易定制符合自己企業(yè)生產(chǎn)需要的設(shè)備，下面小編就針對氮化爐充入氮氣的作用，PECVD過程中充入氮氣的作用是什么？ 這一問題整理了些答案，供大家參考：
N2維持關(guān)內(nèi)氣流的穩(wěn)定，工藝結(jié)束可以把SiH4，NH3擠出去。非反應(yīng)氣體
N2 一般是填充氣 用于清除爐管里的硅烷和氨氣. 以及改變爐管內(nèi)的壓強 調(diào)整工作狀態(tài) 開啟爐門等
N2不是反應(yīng)氣體
形成si3n4鈍化層
以上就是關(guān)于氮化爐充入氮氣的作用，PECVD過程中充入氮氣的作用是什么？ 的內(nèi)容，如果大家對該產(chǎn)品感興趣還是建議聯(lián)系廠家咨詢下！
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